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1、美國(guó)MKS流量控制閥248D介紹
上游流量控制閥是比例控制閥，設(shè)計(jì)用于精確控制過(guò)程中上游的氣流。148J全金屬控制閥最大限度地減少了顆粒的產(chǎn)生并減少了殘留污染物的逸氣，否則可能導(dǎo)致設(shè)備故障和產(chǎn)量下降。使用保證外部泄漏率小于1 x 10-10 atm cc/sec(He)的金屬密封件以避免污染和腐蝕。148高溫閥可在150°C的過(guò)程溫度下運(yùn)行。248D控制閥是一種改進(jìn)型電磁閥，在提供控制電流時(shí)將調(diào)節(jié)氣體流量。當(dāng)與MKS控制器和適當(dāng)?shù)牧髁總鞲衅饕黄鹗褂脮r(shí)，248D閥門可調(diào)節(jié)氣體流量，同時(shí)保持準(zhǔn)確和精確的壓力或流量。
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2、美國(guó)MKS流量控制閥248D特性
隨著施加到螺線管的電流不斷增加，連接到電樞的閥座被提升遠(yuǎn)離可調(diào)節(jié)節(jié)流孔。兩個(gè)螺旋彈簧使電樞在閥體內(nèi)居中并抵抗磁升力。這些彈簧最大限度地減少了摩擦和遲滯，這是導(dǎo)致控制性能不佳的主要原因。通過(guò)1249控制閥驅(qū)動(dòng)器提供操作電磁閥所需的驅(qū)動(dòng)信號(hào)，248D閥可用于壓力或流量控制。248D閥門的節(jié)流孔無(wú)需特殊工具即可輕松調(diào)節(jié)或更換。可能需要進(jìn)行調(diào)整以消除因正常操作磨損而導(dǎo)致的閥門泄漏。當(dāng)磨損過(guò)度或改變閥門的流量范圍時(shí)需要更換。
3、美國(guó)MKS流量控制閥248D特征
①無(wú)需特殊工具即可輕松調(diào)整或更換
②調(diào)節(jié)氣體流量，同時(shí)保持精確的壓力或流量
③316 SS、鎳、埃爾吉洛伊合金、KM45、特氟龍
④10至30,000 sccm滿量程流量范圍
⑤4 VCR®外螺紋接頭
⑥可烘烤至150°C
4、美國(guó)MKS流量控制閥248D規(guī)格
①類型：248D流量控制閥
②滿量程流量范圍：10-50,000標(biāo)準(zhǔn)立方厘米
③最小可控流量：0.2%滿量程(小于100 sccm)；0.1%滿量程(100至10,000 sccm)；小于2%滿量程(大于10,000 sccm)
④閉合電導(dǎo)泄漏：小于1×10-5 scc/sec He（最高10,000 sccm）；小于1%滿量程(大于10,000 sccm)（15 psid至atm）
⑤暴露的材料：標(biāo)準(zhǔn)：316 SS、鎳、Viton®；可選：Buna-N、Kalrez®、Neoprene®
⑥密封材料：Viton、氯丁橡膠、Buna-N或Kalrez
⑦配件類型標(biāo)準(zhǔn)：0.25英寸Swagelok®；可選：4 VCR或4 VCO®外螺紋
⑧工作溫度：-10至60°
5、美國(guó)MKS流量控制閥248D產(chǎn)品說(shuō)明
MKS提供上游氣流控制閥，可與適當(dāng)?shù)腗KS控制器和壓力傳感閥連接，通過(guò)調(diào)節(jié)進(jìn)入腔室的氣流來(lái)控制腔室壓力。提供傳統(tǒng)的閥門/控制器和完全集成的閥門/控制器配置。傳統(tǒng)的上游閥門和閥門控制器組合包括基線248D流量控制閥、148J全金屬控制閥和154B高流量閥，可使用MKS 651和1651壓力控制器進(jìn)行控制。這些閥門可以使用1249電磁控制閥驅(qū)動(dòng)器進(jìn)行控制。控制閥驅(qū)動(dòng)器旨在與PC、PLC或其他控制器一起使用，這些控制器提供必要的PID控制功能，但不具備驅(qū)動(dòng)流量控制閥所需的電流輸出。
6、美國(guó)MKS流量控制閥248D其他型號(hào)介紹
MKS提供用于閉環(huán)電子壓力控制的集成上游壓力閥和控制器。這些是獨(dú)立的緊湊型閉環(huán)電子控制系統(tǒng)，用于上游或下游壓力控制。MKS的640B和641B絕對(duì)壓力和表壓控制器包含Baratron電容壓力計(jì)、常閉比例控制閥和閉環(huán)控制電子設(shè)備。這些控制器中的壓力輸出和輸入控制信號(hào)為線性0-5 VOC或0-10 VDC。640/641中包含兩個(gè)跳閘點(diǎn)，并帶有LED狀態(tài)指示燈，可用作簡(jiǎn)單的開/關(guān)過(guò)程限制。640和641壓力控制器可與單通道或四通道電源/讀數(shù)器連接。除了單區(qū)集成壓力控制器外，MKS還提供DPC雙區(qū)壓力控制器，該控制器集成了入口氣動(dòng)截止閥、兩個(gè)帶質(zhì)量流量計(jì)量的獨(dú)立壓力控制通道和一個(gè)真空出口。這樣做的目的是降低用于背面晶圓冷卻的壓力控制子系統(tǒng)的總體擁有成本，特別是對(duì)于最新的兩區(qū)靜電吸盤。
MKS還提供πPC系列PC90集成閉環(huán)壓力控制器和PC99集成閉環(huán)壓力控制器（包括質(zhì)量流量計(jì)）。πPC壓力控制器以支持網(wǎng)絡(luò)的格式提供數(shù)字控制。它是一種獨(dú)立、緊湊、閉環(huán)電子壓力控制系統(tǒng)，專為各種壓力和流量條件而設(shè)計(jì)。它包含Baratron電容壓力計(jì)、常閉或常開控制閥以及閉環(huán)控制電子設(shè)備。πPC可采用上游或下游壓力控制配置，使其非常適合控制工藝室背壓或工藝氣體輸送壓力。憑借數(shù)字（DeviceNet或RS-485）或模擬I/O及其以太網(wǎng)設(shè)置/診斷功能，πPC可以輕松集成到大多數(shù)處理工具中。πPC壓力控制器是一個(gè)完整、緊湊的壓力控制套件，可最大限度地降低成本和空間要求。MKS提供多種不同型號(hào)的真空/壓力開關(guān)，用于準(zhǔn)確可靠地保護(hù)真空設(shè)備、大氣切換和真空/壓力過(guò)程。這些開關(guān)專為不需要直流信號(hào)輸出的應(yīng)用而設(shè)計(jì)，提供繼電器輸出，可輕松與警報(bào)器、閥門執(zhí)行器、計(jì)算機(jī)、過(guò)程控制器、負(fù)載鎖和其他保護(hù)設(shè)備連接。
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